[반도체장비산업] 5G, 시스템 반도체, EUV

[반도체장비산업] 5G, 시스템 반도체, EUV

               

삼성전자가 화성 EUV 시스템 반도체 라인에 투자 중. 2019년 중반 관련 반도체 장비 투자가 증가할 것. 특히 EUV 장비는 마스크, 진공펌프, CDS 등 여러 관련 장비 수요 증가에 영향을 줄 전망 삼성전자, 시스템 반도체 투자 확대 - 삼성전자 시스템 반도체 투자 확대가 반도체 장비 업체들에게 수혜가 될 전망. 삼성전자가 현재 경기도 화성에 짓고 있는 EUV 라인에선 시스템 반도체가 주로 생산될 계획. 규모는 60K 수준. 건물 공사가 2019년 중반 완공되고 이후 장비 투자가 진행. 2019년 수급 악화로 메모리 신규 캐파 투자가 거의 없는 가운데 삼성전자의 시스템 반도체 투자가 반도체 장비 업체에게 도움이 될 것 - 삼성전자 화성 EUV라인에서는 최신 7nm 공정 제품이 생산될 계획. 보통 최신 공정으로는 AP, 모뎀, FPGA, CPU, GPU 등이 생산. 삼성전자는 이 중 AP와 모뎀칩 생산에 강점을 가지고 있음. 최근 5G 상용 서비스가 시작. 세계적으로 아직 5G 모뎀을 생산할 수 있는 업체가 삼성전자, 퀄컴, 화웨이 등으로 제한적. 삼성전자 모뎀칩 수주가 크게 늘어날 전망 EUV, CDS, 진공펌프, CMP 장비 수주 증가 - 삼성전자에 이어 대만의 TSMC도 올해 공격적인 EUV 라인 투자를 계획 중. 반도체 업체 EUV 라인 투자 수혜 대부분은 해외 업체에게 집중될 전망. 네덜란드 ASML이 EUV, 일본 Hoya가 EUV 마스크, 일본 Lasertec이 EUV 마스크 검사 장비를 개발 - 국내 장비 업체에 영향은 다음과 같음. 일차적으로 화성 EUV 라인 건설로 인한 CDS 장비 수요가 증가. EUV 장비는 기존 장비 대비 크고 높이가 높아서 약품을 강하게 쏘아야 함. CDS 장비 대당 단가가 상승. CDS 장비 업체로는 에스티아이와 한양이엔지가 있음 - EUV 장비는 진공펌프 수요를 증가시킴. 기존 ArF 노광 장비는 진공이 필요 없음. EUV는 높은 정밀도가 요구되어 진공이 필요. 이는 진공펌프 업체에게 큰 수요 모멘텀이 될 수 있음. 삼성전자 화성 EUV 라인에는 외산 진공펌프가 들어감. 국내 업체는 차후 투자에서 가능성을 모색 중. 국내 진공 펌프 업체로 엘오티베큠이 있음 - 시스템 반도체 투자 확대는 CMP 장비 수요 증가에도 기여. 시스템 반도체 최신 공정에는 기존에 사용되지 않은 새로운 재료들이 대거 사용될 전망. 대표적으로 코발트가 있음. 코발트, 텅스텐 등 재료는 식각이 되지 않는 특징을 가지고 있음. 따라서 CMP를 활용한 다마신 공정으로 불필요한 부분을 깎아내야 함. 국내 CMP 장비업체로는 케이씨텍이 있음 NH 도현우      *** 본 정보는 투자 참고용 자료로서 그 정확성이나 완전성을 보장할 수 없으며, 어떠한 경우에도 법적 책임소재에 대한 증빙자료로 사용될 수 없습니다.